【導(dǎo)讀】DAS公司通過(guò)在工藝腔室的沉積過(guò)程以及之后的清潔階段采用可靠的廢氣處理系統(tǒng)，確保當(dāng)涉及太陽(yáng)能模塊制造業(yè)在批量生產(chǎn)時(shí)，DAS設(shè)備的性能提升了600%，將平均維護(hù)間隔時(shí)間延長(zhǎng)到6個(gè)月以上。
DAS Environmental Expert公司通過(guò)在工藝腔室的沉積過(guò)程以及之后的清潔階段采用可靠的廢氣處理系統(tǒng)，確保當(dāng)涉及太陽(yáng)能模塊制造業(yè)在批量生產(chǎn)時(shí)，生產(chǎn)設(shè)備維持長(zhǎng)時(shí)間的正常運(yùn)行并滿足最佳的沉積質(zhì)量的需要。由于a-Si/μc-Si CVD生產(chǎn)設(shè)備使用大量的SiH4、H2、NF3和TMB、PH3作為摻雜氣體，但這些工藝氣體都是自燃、易爆或者危害環(huán)境的。因此，DAS堅(jiān)持工藝廢氣必須通過(guò)燃燒濕法洗滌處理，并利用靜電除塵裝置進(jìn)行粉塵清除。
DAS同樣為中國(guó)最大的薄膜太陽(yáng)能ThinFab客戶提供以上的解決方案。Oerlikon (現(xiàn)稱TEL) KAI采用了DAS的UPTIMUM廢氣處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)還可通過(guò)智能軟件控制管理提供設(shè)備之間的備份，同時(shí)添加了EDC (靜電除塵裝置) 系統(tǒng)來(lái)收集處理廢氣中出現(xiàn)粉塵。DAS對(duì)廢氣處理裝置的效率進(jìn)行了超過(guò)1周的測(cè)量，結(jié)果表明其在去除效率 (DRE) 方面性能卓越。得益于強(qiáng)大密集的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)支持，使得DAS設(shè)備的性能提升了600%，將平均維護(hù)間隔時(shí)間延長(zhǎng)到6個(gè)月以上。這再一次證明了DAS的廢氣處理系統(tǒng)可以順利匹配工藝生產(chǎn)設(shè)備的維護(hù)周期。
DAS在中國(guó)薄膜太陽(yáng)能行業(yè)有著的杰出表現(xiàn)。這項(xiàng)項(xiàng)目運(yùn)行期間，DAS一如既往的提供迅速的響應(yīng)反映時(shí)間和強(qiáng)大的現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)支持。 該客戶項(xiàng)目負(fù)責(zé)人說(shuō):“廢氣處理系統(tǒng)超長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間和>99%的除塵效率，幫助我們達(dá)成了制造流程中的質(zhì)量和安全目標(biāo)。”
廢氣處理系統(tǒng)UPTIMUM采用了燃燒/濕洗技術(shù)，針對(duì)不同行業(yè)內(nèi)的CVD工藝生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行優(yōu)化，最多支持六個(gè)獨(dú)立進(jìn)氣口。該系統(tǒng)可使用多種助燃?xì)怏w和提供處理酸堿的不同濕洗方法。
EDC PLUS是一款靜電除塵裝置，用于處理諸如太陽(yáng)能電池或平板顯示器制造等行業(yè)產(chǎn)生的含有細(xì)小粉塵或氣霧的廢氣，處理量可達(dá)270 m3/h。除塵裝置可以顯著減少細(xì)小粉塵排放，其微粒去除效率甚至可達(dá)99.9%，能有效防止排氣系統(tǒng)堵塞。
