【導讀】愛德萬推出全新MVM-SEM晶圓測試系統(tǒng)，是開發(fā)1Xnm節(jié)點制程與22nm以上節(jié)點制程芯片量產的理想解決方案，有助于縮短制程周期時間，提升芯片質量。
愛德萬測試(Advantest)宣布推出專為晶圓所開發(fā)的全新多視角量測掃描式電子顯微鏡(MVM-SEM)系統(tǒng) E3310 ，這套系統(tǒng)可在各種晶圓上量測精細接腳間距圖樣，以Advantest的專利電子束掃描技術，實現(xiàn)無人能及的精確性。
E3310 承襲了Advantest光罩用多視角量測掃描式電子顯微鏡E3630的先進技術，可為下一代設備提供超越群倫的晶圓掃描和量測功能，而其高穩(wěn)定性、高精確性的特色，更成為開發(fā)1Xnm節(jié)點制程與22nm以上節(jié)點制程芯片量產的理想解決方案，有助于縮短制程周期時間，提升芯片質量。
過去半導體技術的發(fā)展，始終遵循著摩爾定律，但在今日邁向更小制程發(fā)展時仍不免遇上技術瓶頸。 FinFET (鰭狀場效晶體管)等 3D 晶體管技術的發(fā)展 ，可望銜接22nm節(jié)點與后續(xù)1Xnm節(jié)點量產之間的鴻溝。Advantest全新 E3310 正可提供高穩(wěn)定性、高精確性的 3D 量測功能，滿足發(fā)展下一代技術之需。
E3310 的多重偵測器配置設定，可在1Xnm 節(jié)點穩(wěn)定進行高精確性量測。此外，它還提供專利偵測算法，可對目前半導體產業(yè)全面實行的3D FinFET架構進行量測。此外， E3310 具備了高精確性定位平臺、電荷控制功能、降低污染技術，即使在掃描式電子顯微鏡高度放大的情況下，仍能穩(wěn)定進行全自動量測。
支持的材料除了硅晶圓之外，還包括 AlTiC 、石英、碳化硅晶圓等，每種類型所支持的尺寸從150mm到300mm不等。
