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三菱材料開發(fā)出高介電體材料可延長薄膜電容器壽命

發(fā)布時間:2010-11-24 來源:日經(jīng)BP社

高介電體材料的產(chǎn)品特性:
  • 采用膜紋理控制技術
  • 應用材料為PZT類高介電體Sol-gel液
高介電體材料的應用范圍:
  • 高介電體材料可延長薄膜電容器壽命

三菱材料開發(fā)出了可延長薄膜電容器壽命的高介電體材料。該公司稱,通過改進材料成分及膜紋理控制技術,在高溫高壓下的加速壽命試驗中實現(xiàn)了十數(shù)倍于現(xiàn)行標準產(chǎn)品的壽命。

新開發(fā)的材料為鋯鈦酸鉛(PZT)類高介電體溶膠凝膠(Sol-gel)液。該公司目前在生產(chǎn)并銷售濕式工藝(溶膠凝膠法)薄膜電容器用PZT類高介電體溶膠凝膠液。此次對現(xiàn)有的這種材料作了改進。溶膠凝膠法,是在基板上涂布有機金屬化合物溶液(溶膠液),使之干燥形成凝膠膜(膠狀固體),并將其燒結,以在基板上獲得金屬氧化物膜的成膜方法。能以低于一般真空工藝(真空蒸鍍法等)的成本制造。
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